真空滲碳設備及工藝雖然出現的時間不長，但由于存在一系列顯著的優點及特點，因此，在生產中的應用范圍在迅速擴大。

(1) 控制滲碳層的深度、碳濃度以及濃度梯度(硬度梯度)是很容易的。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳過程的物理化學反應特點，因而，根據零件的技術條件可簡單地通過計算或一些關系曲線確定真空滲碳熱處理的工藝參數。生產實踐表明，特別對批量生產需以工藝實驗來驗證和修正計算得來的工藝參數，這一點對要求高的精密重要零件的批量生產是很重要的。生產實踐還表明，只要按照通過工藝實驗確定的工藝參數進行操作，即可獲得各爐很一致的滲碳結果——重現性好。

(2)滲碳件表面質量高。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理是在真空狀態下進行加熱、均熱以及滲碳后的擴散，因而零件不產生脫碳和黑色組織等問題，表面也潔凈。這樣，就可省去后清理工序并有利于熱處理后的精加工工序的進行。

(3)真空滲碳零件具有較高的力學性能。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理零件具有表面質量高(不脫碳，不氧化)的特點，因而，對表面層的應力狀態及疲勞強度具有很有利的影響。

(4)對具有盲孔、深孔及窄縫的零件具有較好的滲碳效果。對難于用氣體滲碳熱處理法進行滲碳的不銹鋼、含硅鋼等，用真空滲碳法則可順利地進行滲碳。

(5)可獲得薄的、厚的(可達7mm)以及高碳濃度的滲碳層。使滲碳期與擴散期時間具有不同的配合，即可獲得陡的或平緩的碳濃度梯度。

(6)可進行高溫滲碳熱處理從而縮短了滲碳時間。 

　　無錫熱處理廠認為真空滲碳是在探求高溫滲碳的可能性的基礎上發展起來的。高溫滲碳在真空狀態下之所以可能，是由于現代真空滲碳爐的結構和構件材質已能適應高溫滲碳的要求。

　　高溫滲碳熱處理可以顯著地縮短滲碳時間。這是因為在高的滲碳溫度下，奧氏體對碳具有更高的溶解度，而使用的滲碳氣又能充分供給活性碳原子。還因為高溫滲碳可顯著提高碳在鋼中的擴散速度。再有，零件是在真空狀態下進行加熱升溫的，產生了脫氣、去除氧化物等效果，從而使零件表面活化，使碳原子的吸收過程加速。

　　在普通氣體滲碳條件下，滲碳爐不能長時間地承受高溫。因此，多年來以氣體滲碳爐進行的高溫滲碳試驗未獲成功。